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Die Forschungsschwerpunkte des Fachgebietes der Technischen Physik umfassen die Weiterentwicklung von Halbleiter-Nanostrukturierungsverfahren sowohl über den "top-down"-Ansatz, d.h., basierend auf Lithographiemethoden, als auch über den "bottom-up"-Ansatz, d.h. unter Ausnutzung von Selbstorganisationseffekten. Diese Verfahren werden eingesetzt, um neuartige Bauelementkonzepte in der Mikro-/Nanosystemtechnik, in der Optoelektronik bzw. Nanophotonik und Nanoanalytik zu realisieren. Beispiele hierzu sind die Weiterentwicklung von "cantilever"-Technologien für schnelle bildgebende Verfahren, sensorische Anwendungen bzw. Nanomanipulatoren, die Weiterentwicklung von Halbleiterquantenpunktstrukturen für Hochleistungs- und Telekomlaser bzw. Einzelphotonenquellen, sowie die Realisierung von neuartigen Nanomaterialien wie nanokristalline Diamantschichten.