Forschungsübersicht
Forschungsschwerpunkte
Das Fachgebiet Technische Physik befasst sich schwerpunktmäßig mit den folgenden Themenfeldern:
- Entwicklung von neuartigen Verfahren zur Nanostrukturierung von Halbleitersystemen
- Morphologische, optische und elektronische Charakterisierung von nanostrukturierten Halbleitern
- Herstellung von neuartigen optoelektronischen und nanophotonischen Bauelementen
- Optische und elektronische Charakterisierung der Bauelemente
- Herstellung und Charakterisierung von nanokristallinen Diamantschichten
Bei der Nanostrukturierung von Halbleitermaterialien werden drei Richtungen verfolgt:
- Top-down approach: Herstellung von Nanostrukturen durch Nanolithographieverfahren (z.B. Elektronen- oder Ionenstrahl- bzw. Nanoimprint-Verfahren) und Ätztechniken (z.B. nass- oder trockenchemisches Ätzen)
- Bottom-up approach: Herstellung von Nanostrukturen mit selbstorganisierenden Verfahren (z.B. Quantenpunktwachstum mit Molekularstrahlepitaxie, Entstehung von Nanokristalliten mit speziellen Plasmaabscheideverfahren)
- Mixed approach: Herstellung von Nanostrukturen durch Kombination von top-down und bottom-up approach (z.B. Quantenpunktwachstum auf vorstrukturierten Substraten).
Arbeitsgebiete
Die Forschung gliedert sich aktuell in folgende Gebiete auf: